随着微电子工业的迅速发展，作为大规模集成电路封装领域的关键材料——高纯度球形硅微粉的研究越来越受到关注。本研究分别以天然石英和稻壳为原料，结…

        球形硅微粉又称球形石英粉，是指颗粒个体呈球形，主要成分为二氧化硅的无定形石英粉体材料…