制备工艺 氧气—乙炔火焰法制备高纯度球形硅微粉技术介绍 随着微电子工业的迅速发展,作为大规模集成电路封装领域的关键材料——高纯度球形硅微粉的研究越来越受到关注。本研究分别以天然石英和稻壳为原料,结… 他山石 2021年11月18日 4166 0 0